Kalibration einer Chuck-Temperaturregelung mittels FIR-Pyrometrie

Fraunhofer ist die größte Organisation für anwendungsorientierte Forschung in Europa. Unsere Forschungsfelder richten sich nach den Bedürfnissen der Menschen: Gesundheit, Sicherheit, Kommunikation, Mobilität, Energie und Umwelt. Wir sind kreativ, wir gestalten Technik, wir entwerfen Produkte, wir verbessern Verfahren, wir eröffnen neue Wege.

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Unternehmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Abschlussart

Masterarbeit / Diplomarbeit

Branche

Forschung und Entwicklung

Anforderungen

Im Rahmen dieser Arbeit sollen Möglichkeiten zum Messen der Temperaturgenauigkeit und -homogenität der Temperaturverteilung auf Chucks von UF200 Waferprobern mit unterschiedlichen Messmethoden untersucht werden.
Die Aufgabe umfasst die Entwicklung und Charakterisierung unterschiedlicher Messverfahren (Kontaktmessung, berührungslose Temperaturmessung mittels Fern-Infrarot-Thermografie). Hierzu zählt die Analyse von Fehlereinflüssen, Randbedingungen und der erreichbaren Messunsicherheiten der Verfahren sowie deren Umsetzung und messtechnische Bewertung. Außerdem ist eine automatische Test-Ablaufsteuerung zu entwerfen und zu implementieren.

Was Sie mitbringen
-Studentin/Student der Elektrotechnik, Informatik oder in einem technisch/ naturwissenschaftlichen Studiengang
-Wünschenswert sind Kenntnisse und Erfahrungen in der Programmierung unter .NET/C# sowie in der rechnergestützten Messtechnik
-ausgeprägte Eigeninitiative
-zuverlässige, eigenständige Arbeitsweise sowie ein hohes Maß an Kommunikations- und Teamfähigkeit

Zusatzinformationen

Die wöchentliche Arbeitszeit beträgt 39 Stunden
Schwerbehinderte Menschen werden bei gleicher Eignung bevorzugt eingestellt.
Die Fraunhofer-Gesellschaft legt Wert auf die berufliche Gleichstellung von Frauen und Männern.

Anja Schwarzkopf
Telefon: +49 0203 3783 - 2913
E-Mail: personal@ims.fraunhofer.de

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Bitte beziehen sich dabei auf Thesius.

http://www.ims.fraunhofer.de
Kennziffer: IMS-2016-30