Abschlussarbeit zur Physikalischen Gasphasenabscheidung von Ti/tin Und Ta/tan Dünnschichten

• Entwicklung von Sputterprozessen zur Abscheidung von Titan/Titannitrid und Tantal/Tantalnitrid-Dünnschichten unter Verwendung von state-of-the-art 300mm Fertigungsanlagen für Kondensator- und nicht-flüchtige Speicheranwendungen
• Systematische Untersuchung des Einflusses verschiedener Prozessparameter auf die Abscheideraten und auf die Schichteigenschaften insbesondere auf den Stickstoffgehalt und daraus resultierend den Schichtwiderstand
• Charakterisierung der Schichten mittels gängiger Metrologieverfahren (Vierspitzenmessung, Röntgenreflektometrie, Photolelektronenspektroskopie, Spektralellipsometrie, Atomkraftmikroskopie) sowie Laboranalytik (Röntgendiffraktometrie, REM, TEM)
• Optimierung der Schichteigenschaften zur Anwendung als Kondensator- oder Speicherelementelektrode

Weitere Informationen

Unternehmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Bereich/Abteilung

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

Abschlussart

Bachelorarbeit / Masterarbeit / Diplomarbeit

Ansprechpartner/in

Fragen zu dieser Position beantwortet gerne:
Herr Stefan Riedel
Tel.: 0351 2607 3048

Branche

Forschung und Entwicklung

Anforderungen

Diese Ausschreibung richtet sich an Studentinnen und Studenten der Fachbereiche Elektrotechnik, Physik, Chemie, Maschinenbau/Verfahrenstechnik, Naturwissenschaften oder vergleichbarer Studiengänge (Uni oder FH). Wir setzen Ihr Interesse an der Halbleitertechnologie und gute Sprachkenntnisse in Deutsch und Englisch voraus. Weiterhin legen wir Wert auf eine strukturierte, eigenverantwortliche Arbeitsweise als auch Teamfähigkeit und Kommunikationsbereitschaft. Erfahrungen zur Arbeit in Reinsträumen sowie Vorkenntnisse zu Methoden der physikalischen Gasphasenabscheidung und Verfahren der Halbleiterfertigung im Allgemeinen sowie zu typischen Mess- und Analyseverfahren in der Dünnschichttechnik sind wünschenswert, aber nicht zwingend erforderlich.

Zusatzinformationen

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS Arbeitet mit 280 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern an nanoelektronischen, mechanischen und optischen Komponenten und ihrer Integration in winzigste, »intelligente« Bauelemente und Systeme.

Was Sie erwarten können:
• sehr gute Betreuung durch unsere Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler
• Arbeiten in einem hochmodernen und innovativen Arbeitsumfeld: Infrastruktur (Reinraum und Labor) sowie Spitzentechnologie entsprechen Industriestandard
• Unmittelbare Anbindung an die Industrie

Die Prüfungsleistung erfolgt über die Anbindung an eine deutsche Fachhochschule bzw. Universität und richtet sich nach dem jeweiligen Landeshochschulgesetzt. Die Durchführung der wissenschaftlichen Arbeit ist im Geschäftsfeld Fraunhofer CNT in Dresden vorgesehen.