Kalibration einer Chuck-Temperaturregelung mittels FIR-Pyrometrie

Im Rahmen dieser Arbeit sollen Möglichkeiten zum Messen der Temperaturgenauigkeit und -homogenität der Temperaturverteilung auf Chucks von UF200 Waferprobern mit unterschiedlichen Messmethoden untersucht werden.
Die Aufgabe umfasst die Entwicklung und Charakterisierung unterschiedlicher Messverfahren (Kontaktmessung, berührungslose Temperaturmessung mittels Fern-Infrarot-Thermografie). Hierzu zählt die Analyse von Fehlereinflüssen, Randbedingungen und der erreichbaren Messunsicherheiten der Verfahren sowie deren Umsetzung und messtechnische Bewertung. Außerdem ist eine automatische Test-Ablaufsteuerung zu entwerfen und zu implementieren.

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Unternehmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Bereich/Abteilung

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme

Abschlussart

Masterarbeit / Diplomarbeit

Branche

Elektrotechnik

Schlagwörter

Waferprober Temperaturhomogenität Temperaturverteilung Messtechnik

Anforderungen

• Studentin/Student der Elektrotechnik, Informatik oder in einem technisch/ naturwissenschaftlichen Studiengang
• Wünschenswert sind Kenntnisse und Erfahrungen in der Programmierung unter .NET/C# sowie in der rechnergestützten Messtechnik
• ausgeprägte Eigeninitiative
• zuverlässige, eigenständige Arbeitsweise sowie ein hohes Maß an Kommunikations- und Teamfähigkeit

Zusatzinformationen

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme

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Die Fraunhofer-Gesellschaft legt Wert auf die berufliche Gleichstellung von Frauen und Männern.