Abschlussarbeit im Bereich Plasmaätzprozesse

Themenvorschlag für Bachelorarbeit / Themenvorschlag für Masterarbeit
Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen werden Plasmaätzverfahren eingesetzt, die lithografisch vorstrukturierte Resistmasken in unterliegende Schichten übertragen.
Ziel eines aktuellen Forschungsprojektes ist es, hochselektive Plasmaätzprozesse für neuartige Schichtstapel zu entwickeln und zu charakterisieren.
Dazu sollen im Rahmen einer Master- bzw. Diplomarbeit folgende Aufgaben gelöst werden:
•Entwicklung von neuen Ätzprozessen für Nanostrukturen auf 300 mm Wafern
•Untersuchung des Prozessfensters (Variation Ätzgase, Plasmaleistung, kapazitive Leistung etc.)
•Vergleich von kalten und heißen Ätzprozessen
•Untersuchung der Ätzschädigung an Schichtgrenzen (SiO2/SiON, Bulk Si) mit modernen Analyseverfahren (HR-OES, QMS, TEM etc.)

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Unternehmen

Thesius Inspiration

Abschlussart

Bachelorarbeit / Masterarbeit

Branche

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