Prozesscharakterisierung Neuer Chemisch Verstärkter Negativlacke Für Die Elektronenstrahllithographie

Zur Herstellung von integrierten Schaltungen in der Halbleitertechnik werden die Strukturen auf dem Substrat lithographisch erzeugt. Dazu werden licht- bzw. elektronenempfindliche Polymere (Lacke) verwendet. Nach der Belichtung wird die Lackmaske durch eine Ätzung in das Substrat übertragen. Für die Evaluation neuer Negativlacke ist es notwendig eine Prozesscharakterisierung - und optimierung für die Belackung und die Belichtung durchzuführen. Die durchzuführenden Experimente werden an hochmodernen Anlagen im Reinraum des Fraunhofer IPMS-CNT durchgeführt.

Im Rahmen einer Master-/Diplomarbeit sollen dazu folgende Aufgaben gelöst werden:

• Messung und Auswertung von Prozessparametern für die Schritte Belacken, Ausbacken und Entwickeln
• Optimierung von Parametern hinsichtlich Auflösung, Kontrast, Empfindlichkeit bei der Belichtung
• Bestimmung und Anpassung des Ätzverhaltens
• Untersuchung der Langzeitstabilität

Weitere Informationen

Unternehmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Bereich/Abteilung

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Abschlussart

Masterarbeit / Diplomarbeit

Ansprechpartner/in

Fragen zu dieser Position beantwortet gerne: Herr Xaver Thrun | Tel.: 0351 2607 3015

Branche

Forschung und Entwicklung

Anforderungen

• Interesse für Halbleitertechnik
• Gute Sprachkenntnisse in Deutsch und Englisch
• Hohes Engagement und eigenverantwortliches Arbeiten in einem internationalen Team
• Teamfähigkeit und Kommunikationsbereitschaft

Sie absolvieren ein naturwissenschaftliches oder ingenieurtechnisches Studium (Physik, Chemie, Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Verfahrenstechnik oder vergleichbar) und besitzen einen Bachelorabschluss oder ein Vordiplom.

Zusatzinformationen

Die Durchführung der wissenschaftlichen Arbeit ist im Geschäftsfeld Fraunhofer CNT in Dresden vorgesehen. Die Prüfungsleistung erfolgt über die Anbindung an eine deutsche Fachhochschule/Universität und richtet sich nach dem jeweiligen Landeshochschulgesetz.

Wir freuen uns insbesondere über die Bewerbungen von motivierten Studentinnen und Studenten. Bitte senden Sie uns Ihre vollständigen und aussagekräftigen Bewerbungsunterlagen ausschließlich online über den unten stehenden Link. Im besten Fall lernen wir uns bald persönlich kennen!

https://recruiting.fraunhofer.de/Vacancies/26169/Application/New/1

Kennziffer: IPMS-2016-37